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等離子工業廢氣凈化器凈化原理是利用特制的高能高臭氧的UV紫外線光束的照射有機廢氣與TIO2光催化。催化裂解有機廢氣，如二氯丙烷乙、酯、異丙酯、氮、三甲胺、硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC類，苯、甲苯、二甲苯等分子結構鏈條。等離子工業廢氣凈化器使有機或者無機高分子惡臭化合物分子鏈，在高能紫外線的照射下，降解轉化為低分子化合物，如CO2,H2O等。
等離子工業廢氣凈化器的高能UV光束能有效裂解有機廢氣中的分子鍵，破壞細菌的核酸（DNA），然后通過臭氧進行氧化反應，以達到有機廢氣處理的目的。
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